經(jīng)過恒群研發(fā)部的一致努力，南京恒群干燥設(shè)備有限公司應(yīng)市場(chǎng)需要推出了帶有預(yù)處理系統(tǒng)的HMDS真空干燥機(jī)，這款HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)干燥箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

   該系列干燥機(jī)屬非標(biāo)定制，需要來(lái)電咨詢

   本文以HMDS-6210為例進(jìn)行說明。
型號(hào)：HMDS-6210
電源電壓：AC 380V±10%/50Hz±2%
輸入功率：4000W
控溫范圍：室溫+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動(dòng)度：±0.5℃
達(dá)到真空度：133Pa
容積：210L
工作室尺寸（mm）：560*640*600
外形尺寸（mm）：720*820*1750
載物托架：3塊
時(shí)間單位：分鐘
真空泵：國(guó)內(nèi)最好品牌，上�！澳进櫋毙吞�(hào)：DM-4，旋片式油泵。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1、機(jī)外殼采用醫(yī)用級(jí)不銹鋼316L材質(zhì)制造，內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

3、微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。

4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。

5、HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。

6、整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無(wú)發(fā)塵材料，適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

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